4月29日晚间，北方华创科技集团股份有限公司（北方华创）正式公布了2023年年度财报及2024年一季度财报。其中一季度营收高于之前预告（54.2亿元至62.4亿元）的中间值，净利润则超出了之前预告（10.4亿元至12亿元）的上缘。

北方华创2023年实现营业收入220.79亿元，同比增长50.32%，创公司业绩历史新高；归母净利润38.99亿元，同比增长65.73%；扣非净利润35.81亿元，同比增长70.05%。

北方华创表示，公司营业收入比上年同期增长的主要原因是公司主营业务发展良好，应用于集成电路领域的刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等数十种核心工艺装备市场认可度持续提升，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量同比大幅度增加。净利润及扣非净利润增长的主要原因是，公司在收入增长的同时，持续推动降本增效工作取得显著成果，多元化供应链保障能力不断增强，量产交付水平有效提升，规模效应逐步显现，费用率稳定下降，综合导致归属于上市公司股东净利润的增长。

从具体的产品线表现来看：

1、半导体设备

（1）刻蚀设备

刻蚀设备约占集成电路芯片制造设备总资本开支的 22%，是半导体制造过程中的关键环节。刻蚀工艺主要用于去除特定区域的材料来形成微小的结构和图案。随着集成电路线宽的持续减小和 3D集成电路的发展，刻蚀设备在集成电路装备市场中的地位愈加重要，已跃居集成电路采购额最大的设备类型。2023 年公司刻蚀设备收入近 60 亿元。

其中，在电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）方面，公司多晶硅及金属刻蚀系列 ICP设备实现规模化应用，完成了浅沟槽隔离刻蚀、栅极掩膜刻蚀等多道核心工艺开发和验证，助力国内主流客户技术通线，已实现多个客户端大批量量产并成为基线设备。截至 2023年底，北方华创 ICP刻蚀设备已累计出货超 3200腔。

在电容耦合等离子体（CCP）介质刻蚀设备方面，北方华创CCP 介质刻蚀设备实现了逻辑、存储、功率半导体等领域多个关键制程的覆盖，为国内主流客户提供了稳定、高效的生产保障，赢得客户信赖和认可。截至 2023 年底，北方华创 CCP 刻蚀设备已累计出货超 100 腔。

在硅通孔技术（ TSV ）刻蚀设备方面，目前北方华创的 TSV 刻蚀设备已广泛应用于国内主流 Fab 厂和先进封装厂，是国内 TSV 量产线的主力机台，市占率领先。

在干法去胶又称等离子去胶设备方面，北方华创凭借深厚的等离子源开发及应用经验，自主设计开发了低损伤等离子源，克服了 O2、H2、NH3 等去胶的各种技术难点，在高剂量离子注入后的去胶、新型材料去胶、高深宽比聚合物去除等方面取得了技术领先优势。同时，优化了干法去胶设备在维护、量产方面的性能，开发了真空和大气双配置传输平台，在保证技术领先的同时，使客户拥有更长的使用周期及更低的拥有成本（COO）、消耗成本（COC），受到客户广泛认可，形成了批量销售。

（2）薄膜沉积设备

薄膜沉积设备约占集成电路装备总资本开支的 21%，是半导体制造工艺中的关键环节。薄膜沉积设备主要用于在基底材料上生长、沉积或涂布极薄的膜层，这些膜层在芯片中扮演重要的角色。2023 年公司薄膜沉积设备收入超 60 亿元。

其中，主要用于金属薄膜制备的物理气相沉积（PVD）设备方面，截至 2023 年底，公司已推出 40 余款 PVD 设备，累计出货超 3500 腔。

在主要用于介质薄膜和金属薄膜制备的化学气相沉积（CVD）设备方面，截至 2023 年底，北方华创已实现 30 余款 CVD 产品量产应用，为超过 50 家客户提供技术支持，累计出货超 1000 腔。

在材料生长的关键设备——外延（EPI）设备方面，截至 2023 年底，北方华创已发布 20 余款量产型外延设备，累计出货超 1000 腔。 公司自主研发的 12 英寸常压硅外延设备，实现了对逻辑芯片、存储芯片、功率器件及特色工艺的全覆盖，且已全部成功量产，成为客户的基线产品。

（3）立式炉及清洗设备

立式炉和清洗设备分别约占集成电路装备总资本开支的 5%，在集成电路工艺生产线上发挥着关键作用。立式炉主要包括立式氧化/退火炉、多片立式低压化学气相沉积设备（LPCVD）和多片立式原子层沉积设备（ALD）。清洗设备主要包括单片清洗设备和槽式清洗设备。2023 年公司立式炉和清洗设备收入合计超 30 亿元。

在立式炉领域，北方华创突破并掌握了气流场/温度场控制、反应源精密输送、硅片表面热场设计等关键技术，实现了立式炉系列化设备在逻辑和存储工艺制程应用的全面覆盖。截至 2023 年底，公司立式炉累计出货超 700 台。

在清洗设备领域，北方华创经过多年的技术积累，先后突破了多项关键模块设计技术和清洗工艺技术，包括伯努利卡盘和双面工艺卡盘、高效率药液回收系统、热 SPM 工艺、热磷酸工艺、低压干燥工艺等，实现了槽式工艺全覆盖，同时高端单片工艺实现突破。公司在集成电路领域的工艺设备均已在客户端实现量产。截至 2023 年底，公司清洗设备累计出货超1200 台。

（4）新能源光伏领域设备

在新能源光伏领域，公司晶硅电池制造设备实现了多项技术突破，建立了行业领先的技术优势。扩散设备工艺性能表现突出，具有高产出、高效能、高稳定性的特点；PECVD 设备覆盖多种电池技术； LPCVD 设备实现了大尺寸硅片兼容和高载片量的突破。目前，公司在 PERC、TOPCon、HJT 等领域实现了扩散、氧化、退火类设备的全覆盖，为光伏行业提供了更为专业、高效、先进、低成本的解决方案。截至 2023 年底，公司光伏领域设备累计出货超过 4000 台，实现头部客户全覆盖，并出口越南、泰国、新加坡、马来西亚等地，成为光伏行业领先的解决方案提供商。2023 年公司新能源光伏领域设备收入近 20 亿元。

2、真空及锂电工艺装备

真空装备作为基础材料制造业的工业母机，在多个领域发挥着重要作用。公司深耕高压、高温、高真空技术，研发的真空热处理、气氛保护热处理、连续式热处理、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜、硅单晶生长等高端热处理工艺装备，广泛应用于真空电子、半导体材料、储能材料、磁性材料、碳碳复材、碳陶材料等领域，为行业提供高效、节能、环保的真空及锂电装备工艺解决方案。

（1）真空炉

北方华创紧跟新能源的技术发展方向，围绕先进陶瓷领域，根据氮化铝、氮化硅、碳化硼、高纯氧化铝等先进陶瓷制备工艺需求，针对性开发了产业链相关的 13 种工艺设备，丰富了公司真空产品线。真空热处理工艺设备在半导体行业的关键零部件、分立器件等制造领域均实现广泛应用，其中气淬炉已通过客户工艺验证，高纯 SiC 部件用渗硅炉、重结晶炉通过客户工艺验证并实现销售，AMB 基覆铜板钎焊炉及氧化铝 HTCC 烧结炉已实现批量销售。此外，北方华创结合客户需求，开发了应用于光伏行业高温材料制备的连续石墨化炉， 目前在碳碳、碳陶等领域已实现批量应用。

（2）单晶炉

针对光伏行业低成本、大产能需求，北方华创研发了连续拉晶系统（CCZ），可有效减小加料和熔料时间，显著降低单晶圆棒非硅成本，同时具有晶棒电阻率范围窄且可控的优点。结合客户实际生产运行情况，北方华创开发了不同尺寸的硅单晶生长炉，在行业头部客户累计销售硅单晶炉超过 5000 台。同时，北方华创为客户提供最优的能耗解决方案，主导制定了《单晶炉能源消耗规划》行业标准，为全行业提供了单晶炉生产能耗的量化标准。

（3）工业镀膜设备

工业镀膜设备包括工业 PVD 镀膜设备和工业 CVD 镀膜设备。北方华创围绕新能源电池新型材料，设计开发了新一代复合集流体高速卷绕 PVD 镀膜设备，解决锂电池下一代复合集流体的批量制备难题。针对氢燃料电池领域，采用多弧技术，开发了双极板连续立式 PVD 镀膜设备；针对各种 PVD 工艺的测试与客户工艺验证，开发了多弧、蒸镀、磁控溅射为一体的多功能工艺测试平台，为各类功能涂层制备奠定了基础。同时，围绕半导体设备关键零部件的制备，北方华创研发了重结晶碳化硅结构件的 CVD 工艺技术，开发碳化硅纤维增强、碳化硅复合材料的工业 CVD 设备，为新一代陶瓷基复合材料领域提供解决方案。

3．精密电子元器件

在高端精密电子元器件领域，公司主要产品为电源管理芯片、石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件等。公司将现有工艺与半导体工艺相结合研制新产品，拓展新应用。新开发的模拟链路产品，采用国内先进半导体工艺制程，结合先进塑封技术和高可靠金属陶瓷封装技术，具有产品种类覆盖宽、适用面广、宽温度适应性和高可靠等优势，主要应用于通信、交通及电力等领域，在信号处理中有着无可替代的作用。新开发的硅电容器，采用半导体 MOS 工艺和微机电系统（MEMS）工艺相结合的技术，具有小型化、集成化、高精密的特点，主要应用于通信、射频微波、2.5D/3D 先进封装、汽车电子等领域，在天线匹配、射频滤波等电路中具有突出优势。

2023年研发费用同比增长34.14%，累计专利申请量已超7900件

值得一提的是，在2023年，北方华创的研发费用达24.75亿元，同比增长34.14%。截至 2023 年底，公司已累计申请专利 7,900 余件，获得授权专利 4,700 余件，体现了公司在半导体基础产品领域的深厚技术积淀和强大的创新能力。特别是在集成电路核心装备领域，公司成功研发了多款具备自主知识产权的高端设备，已在多家客户实现稳定量产，并获得客户的一致好评。同时，公司的核心产品广泛应用于化合物半导体、新能源光伏、新型显示等多个领域，展现出良好的市场前景和发展潜力。

2024年一季度净利润同比暴涨90.40%

北方华创2024年一季度营收58.59亿元，同比增长51.36%；归母净利润11.27亿元，同比暴涨90.40%；基本每股收益为2.1245元，比上年同期增加 89.94%；稀释每股收益为 2.1245元，比上年同期增加 90.06%。

与之前的2024年一季度业绩预告相比，最终的营收高于之前预告的54.2亿元至62.4亿元的中间值，净利润则超出了之前预告的10.4亿元至12亿元的上缘，达到了11.27亿元，可以说是超预期。

北方华创表示，一季度营收大涨的主要原因是：公司持续聚焦主营业务，精研客户需求，深化技术研发，不断提升核心竞争力，应用于集成电路领域的刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等工艺装备市场份额稳步攀升。净利润及扣非净利润大涨的主要原因是：公司营收规模的持续扩大，同时规模效应逐渐显现，成本费用率稳定下降。

编辑：芯智讯-浪客剑