我国的EUV不是走LPP二氧化碳激光器路线，而是LPP多路光纤激光器序列打靶的路

利益慢 2025-03-19 19:40:16

我国的EUV不是走LPP二氧化碳激光器路线，而是LPP多路光纤激光器序列打靶的路线了，最关键的高脉冲能量高重频光纤激光器已经做出来了，而且是完全国产化 [并不简单]

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