ASML:对华光刻机出口许可被吊销,我外交部回应

芯片带师小可爱 2024-01-05 07:32:04

导读:当地时间1月1日消息,ASML官方公告称部分NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的出货许可证被荷兰政府撤销,将影响部分中国客户。

图:ASML公告

年初,芯片大师曾在分析:对华出口管制有哪些“重大漏洞”可以利用一文中提到,ASML于2022年发布的最新一代浸没式DUV系统NXT2100i可能是拜登政府将严格对华禁售的重点机型之一。

据ASML官网提供的信息,此前该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、2000i和2050i,这些型号或多或少地出现在芯片大师之前的分析中。

同时,ASML中国区CEO在11月公开表示,因产能供不应求,当前ASML手上尚未执行的订单规模约为350亿欧元,这些订单是在2021年和2022年下单的,积压的订单很多来自中国。

图:2100i是ASML高端DUV

按照ASML的说法,2023年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单(至于2024年是不是可以继续,ASML之前表示不能确定)。这意味着,来自中国的DUV未交付订单已经不多(也有可能订单被拒绝),剩下未交付的占比较多为非DUV,也不在管控范围内。

ASML官网上关于NXT:1980Di介绍中,在分辨率方面该机器最多可以做到38nm(可以支持到7nm左右的逻辑工艺),而这是指一次曝光分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光,而2100i的这项指标在38nm及以下。

关于这个“最小金属间距”也出现在10月份美国政府的新限制清单内,这里做一个对应关系的解释。目前,每家晶圆厂使用相同机器实际实现的工艺是有显著差异的,以业界标杆台积电为例,其16/12nm工艺节点的最小金属间距为64nm,而对应的7nm逻辑工艺为40nm间距,5nm节点为28nm间距。

图:外交部发言人汪文斌

1月2日,有记者在我国外交部例行记者会上提问称,美国要求荷兰ASML公司在本月晚些时候实施的禁令之前停止向中国出口部分光刻机,中方对此有何评论?

对此,外交部发言人汪文斌表示,中方一贯反对美国泛化国家安全概念,以各种借口胁迫其他国家搞对华科技封锁。半导体是高度全球化的产业,在各国经济深度融合的背景下,美方有关霸道霸凌行径严重违背国际贸易规则,严重破坏全球半导体产业格局,严重冲击国际产业链供应链的安全和稳定,必将自食其果。

汪文斌强调,我们敦促荷方,秉持客观公正立场和市场原则,尊重契约精神,以实际行动维护中荷两国和双方企业的共同利益,维护国际产业链供应链的稳定和自由开放、公正、非歧视的国际贸易环境。中方将密切关注有关动向,坚决维护自身合法权益。

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