1、国林科技（300786）：公司半导体专用臭氧清洗设备的核心零部件及大部分配件装置都是自主研发。目前公司半导体产品已在国内10余家企业进行验证，已有部分企业完成验证。

2、双乐股份（301036）：公司用于面板光刻胶的颜料的产线已经投资建设完成，目前产品正在测试和改进中。公司生产的酞菁系列颜料是当前蓝、绿色谱中不可替代的高性能有机颜料。

3、瑞纳智能（301129）：公司全资子公司合肥高纳主要从事第三代半导体SIC单晶生长和设备研发、SIC衬底加工、SIC外延生产销售。

4、英唐智控（300131）：子公司日本英唐微技术专注于模拟IC和数字IC产品的研发生产，在MEMS微振镜相关领域拥有丰富的研发经验，拥有6英寸晶圆器件产线。公司是国内唯一一家同时拥有顶级主控和存储芯片代理权的分销商。

5、东方嘉盛（002889）：公司23年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库获批通过，公司中标于国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻胶寄售维修服务，已投入运营中。

7、华亚智能（003043）：公司一直专注于向国内外领先的高端设备制造商提供“小批量、多品种、工艺复杂、精密度高”的定制化精密金属结构件产品。公司的半导体设备领域精密金属结构件应用于刻蚀、薄膜沉积、光刻、去胶、印刷、封装等设备；半导体设备领域真空阀门维修主要应用于刻蚀、沉积、扩散、离子注入、氧化、清洗等设备。

8、赛微电子（300456）：公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂，业务遍及全球，服务客户包括国际知名的光刻机、计算机网络及系统、硅光子、AI计算等设备巨头厂商及各细分行业的领先企业。

10、波长光电（301421）：公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。在激光检测和测量方向，公司产品目前已进入半导体光刻领域配套检测产业。

11、新莱应材（300260）：公司在半导体核心的表面处理上工艺先进、通过国际半导体设备龙头厂商的审核等优势凸显。公司真空产品和气体产品均可以应用到光刻机的设备中，客户已经包含光刻机设备的制造商。

12、张江高科（600895）：公司间接持有上海微电子9.08883%的股权。

13、奥普光电（002338）：公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破。公司是其旗下唯一上市企业。

14、福晶科技（002222）：公司曾通过欧洲代理向ASML提供少量光学元件，控股子公司福创光电开展衍射光学元件研究、生产，衍射光学元件是光刻胶中一系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源。

15、至正股份（603991）：控股51%的子公司苏州桔云主要产品用于半导体后道先进封装领域，包括涂胶显影设备、清洗设备等。

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