半导体芯片失效分析解决方案概述

芯片迷不休息 2024-07-10 16:22:06
原创 芯片失效分析 半导体工程师 2024年05月31日 10:01 北京

芯片失效分析解决方案

当面对芯片失效分析时,解决方案需要系统而详细地进行。以下是根据参考文章整理出的芯片失效分析解决方案,以清晰、分点的方式进行表述:

一、初步检查与定位

外观检查:首先观察芯片表面是否有明显的损坏、裂纹或烧焦痕迹。这些迹象可能指示着短路、过压等问题。

电压和电流测量:使用万用表等工具测量芯片的电压和电流,以确定芯片是否正常工作。异常的电压或电流可能意味着芯片内部元器件损坏或连接不良。

二、非破坏性分析

X射线检测:利用X射线检测芯片内部结构的缺陷和物理损伤,如层剥离、爆裂、空洞等。

超声波扫描显微镜(C-SAM):通过超声波扫描显微镜观察芯片内部的晶格结构、杂质颗粒、裂纹、分层缺陷、空洞和气泡等。

三、电性测试

IV测试:进行电性测试,使用IV测试工具检查芯片的电气性能,包括连接性失效、电参数失效和功能失效。

万用表、示波器等工具:利用这些工具对芯片进行详细的电气性能测试,以验证芯片的某些特性是否与预期不符。

四、破坏性分析(如果初步分析无法确定失效原因)

芯片开封:使用激光开封机或自动酸开封机去除芯片封装外壳,以暴露内部结构。

剖面分析/RIE:通过机械或化学方法去除芯片内部的钝化层,使被检样品下层金属暴露。

电子显微镜(SEM)和能量弥散X光仪(EDX):利用SEM进行材料结构分析、缺陷观察和元素组成常规微区分析,利用EDX进行元素组成的精确测量。

五、失效原因定位与分析

探针测试(Probe Test):使用探针站对芯片的信号进行探测和分析,以确定失效发生的位置。

失效种类确认:将失效分为电性和物理两类,并了解失效产生的测试环境,如ESD等。

六、总结与建议

根据分析结果,提出针对性的解决方案,如更换损坏的元器件、优化电路设计、改进制造工艺等。

建议对芯片的研发和生产过程进行监控和改进,以提高芯片的可靠性和稳定性。

通过以上步骤,我们可以对芯片失效进行全面而深入的分析,并找到有效的解决方案。请注意,芯片失效分析是一项复杂且精细的工作,需要具备专业的知识和技能。

如何结合其他测试手段进行芯片失效定位

当进行芯片失效定位时,结合多种测试手段可以显著提高分析的准确性和效率。以下是如何结合其他测试手段进行芯片失效定位的详细步骤和归纳:

初步观察与检查:

外观检查:首先使用光学显微镜进行芯片外观的详细检查,寻找是否有裂痕、烧伤痕迹、封装缺陷等物理损伤。

记录信息:记录所有观察到的异常现象,以便后续分析参考。

非破坏性分析:

X射线透视检测(X-ray Inspection):利用X射线技术穿透封装材料,揭示芯片内部结构。这种方法能够发现如焊点完整性、封装层剥离、爆裂、空洞或内部短路等缺陷。

扫描声学显微镜(C-SAM):通过高频超声波在材料不连续界面上反射产生的振幅及相位与极性变化来成像,以红色的警示色表示缺陷所在。对于焊接层、填充层、涂覆层等的完整性检测特别有效。

电性能测试:

电性测试(IV):使用IV、万用表、示波器等工具进行电测,以确定失效模式。电测失效可分为连接性失效、电参数失效和功能失效。

探针台测试:通过微探针快捷方便地获取IC内部电信号,对芯片的信号进行探测和分析。

热测量手段:

红外热成像技术:通过检测芯片表面的温度分布来推断芯片内部的工作状态和失效位置。异常高温区域或温度梯度较大的区域可能指示失效位置。

破坏性分析(如需要):

在确定大概失效位置后,有时需要采用机械decap、化学decap等方法,进一步去除封装层,深入研究芯片的内部结构和失效原因。

综合分析:

将所有测试手段得到的结果进行综合分析,结合芯片的设计和制造工艺,确定失效的具体原因和位置。

特别注意不同测试手段之间的互补性,如X射线和C-SAM在检测不同类型缺陷时的优势。

验证与确认:

在确定了失效位置和原因后,通过进一步的实验或模拟验证分析结果。

确认失效种类,如电性失效或物理失效,并了解失效产生的测试环境,如burn-in、ESD等。

通过上述步骤和方法的结合,可以大大提高芯片失效定位的准确性和效率,为后续的故障修复和品质提升提供有力支持。

芯片失效分析第三方实验室

北软芯片失效分析实验室

芯片失效分析第三方实验室在半导体行业中扮演着至关重要的角色,它们提供对失效芯片进行深入研究和分析的服务,以找出故障源并提出相应的解决办法。以下是对芯片失效分析第三方实验室的详细介绍:

一、工作内容

失效芯片的接收与登记:实验室接收失效芯片后,会进行详细的登记,记录芯片的来源、使用环境、使用时间等信息,为后续的分析工作提供基础数据。

失效现象的观察与描述:实验室会对失效芯片进行外观检查,观察芯片是否有明显的物理损伤、氧化变色等情况,并记录失效现象的特点和分布情况。

失效机理研究:通过测试芯片的电流、电压、温度等参数,实验室会对失效芯片进行深入的电学和物理性能测试,分析失效的原因和机理。

失效定位与分离技术:采用各种微细加工和微操作技术,实验室会对失效芯片进行精细处理,定位失效位置,并对失效芯片进行分离,以便进一步分析失效原因。

失效原因分析:根据失效机理研究的结果,实验室会对失效原因进行分析,如材料缺陷、制造工艺问题、环境因素等都可能是芯片失效的原因。

解决方案提出:基于失效原因分析的结果,实验室会提出相应的解决方案,如改进制造工艺、优化芯片设计、加强封装保护等措施以降低芯片失效的风险。

二、技术要求

芯片失效分析第三方实验室需要具备一系列先进的技术和设备,以满足对失效芯片进行分析和研究的需要。这些技术包括:

测试设备:如电子显微镜、光谱分析仪、X射线衍射仪、能谱仪等,可以对芯片进行微观结构和化学成分的分析。

微细加工设备:如离子束刻蚀机、聚焦离子束显微镜等,可以对芯片进行精细加工和操作。

高真空设备:如高真空镀膜机、高真空炉等,可以对芯片进行各种高真空处理和实验。

三、实验室示例

北京软件产品质量检测检验中心芯片失效分析实验室(简称:北软检测):成立于2002年7月,可以进行全流程的失效分析、可靠性测试、安全验证等。该实验室配备了包括点针工作站、反应离子刻蚀、微漏电侦测系统、X-Ray检测、超声波扫描显微镜等在内的先进设备。

以上是对芯片失效分析第三方实验室的详细介绍,包括其工作内容、技术要求和部分实验室示例。这些实验室在半导体行业中发挥着重要作用,为提高芯片的可靠性和稳定性提供了有力支持。

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