2025年3月，中微公司宣布其ICP刻蚀机PrimoTwin-Star®反应台

高旭的世界 2025-03-28 08:17:39

2025年3月，中微公司宣布其ICP刻蚀机Primo Twin-Star®反应台之间的刻蚀精度已达到 0.2A。CCP双台机 Primo D-RIE®和Primo AD-RIE®的加工精度，也达到相同的水平。 中微公司2024年下半年实现零部件100%国产替代： 前端模块（EFEM）方面沈阳新松、兴宇宏、荣耀电子等企业在生产； 传输模块（TM）方面先锋精密生产的腔体，已批量应用于中微半导体的7nm及以下制程刻蚀设备； 工艺模块（PM）方面富创精密、江丰电子已经具备研制防腐涂层的实力。

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