俄罗斯向全球宣告:比中国率先制造出 EUV 光刻机,首台 350 纳米的即将量产 莫斯科市长办公室的灯泡突然换成激光了!他们刚宣布造出全球首台用固体激光器当"画笔"的光刻机,能像打印机一样在晶圆上画350纳米电路。这机器工作台有22毫米见方,比传统设备大15%,能处理200毫米"硅饼"。 俄罗斯工程师用了3年时间把焊机用的激光改造成最亮的光,省电40%还能连画600天不熄火。他们拆了最后1台进口设备时发现,汞灯参数其实可以用激光替代。现在这台机器研发成本只要1.2亿人民币,比进口货便宜四成。 争议来了:这台机器能画130纳米电路吗?工程师悄悄给机器留了升级接口,明年要挑战更细的线条。莫斯科三家芯片厂已下单,他们厂区集中在"硅环线",这条产业带贡献俄罗斯40%的微电子营收。
白俄罗斯Planar工厂送来关键传感器,圣彼得堡大学贡献蚀刻技术,连西伯利亚的晶圆厂都开始改造设备。不过这台机器现在只能满足洗衣机芯片需求,汽车电子芯片良品率还在测试中。 全球光刻机俱乐部新增会员的消息让荷兰ASML股价波动0.3%。莫斯科政府宣布明年再投166亿人民币,要在2026年前造出能画130纳米电路的机器。现在最紧张的是三家本土采购商——他们得在年底前把新设备装进无尘车间。
孤影!
350纳米[捂脸哭][捂脸哭][捂脸哭]