光刻机是芯片制造过程中最重要的设备，决定着芯片制程的先进程度。但由于多种原因，光刻机目前主要依赖进口，这也成了美方对我们实施芯片限制的一个重点。

之前，美方只是限制ASML出货高端EUV光刻机，后来随着芯片规则不断收紧，又要限制DUV光刻机。不过，ASML不再甘心继续受损，近日消息显示果然有一套。

2022年10月份，美方把芯片限制标准提升到了14nm及以下制程后，就盯上了先进半导体设备，尤其是浸润式DUV光刻机。于是，美拉拢日荷两方达成三方协议。

因为光刻机的出货商主要是荷兰的ASML和日本的尼康、佳能，日本方面一向比较顺从，主要是荷兰方面，ASML之前已经被限制了EUV，对DUV限制非常地抵触。

然而，在美方的施压和推动下，日本和荷兰于2023年先后宣布正式实施出口管制。

日本方面没有意外，迅速制定了严格的限制标准，于去年7月23日正式实施，直接将制程范围在45 nm -7nm的浸润式光刻机列入限制范围，尼康的型号都不能出货。

然而，荷兰方面就不同，不仅推到去年9月1日才开始实施限制，光刻机限制标准还增加了同时符合DCO值小于1.5nm，所以ASML老型号1980Di还可以继续出货。

即使荷兰9月1日正式实施管制，但ASML又取得了到2023年底前的出货许可证。

从光刻机出货方面可以看出，日本方面就很配合美方，而荷兰方面相对就没那么地顺从。在这种情况下，ASML才争取到了加速出货的机会，而尼康就没这么幸运了。

不过，新年伊始情况就发生改变了，ASML对外发表声明，荷兰政府最近已经吊销了部分光刻机许可证，2050i和2100i两款不能再向中企出货，影响了少数大陆客户。

那么，这是不是意味着我们高端芯片发展将会受到影响？事实上情况并没那么严重。

首先，ASML非常精明，声明也没那么简单。因为ASML只是表示2050i和2100i两款许可证被吊销，但原来是四款可出货，这说明2000i和1980Di还可以继续出货。

四款浸润式光刻机的制程其实是一样的，都是可以生产45nm-7nm芯片，只是生产的效率不同而已。这还是在美方政府的督促要求下，荷兰才取消了两款的许可证。

即使美方再次进行施压，荷兰还可以增加限制2000i型号，ASML还能出货1980Di！

其次，ASML不仅还可以继续出货，之前也已经出货了足够多的光刻机。ASML近日声明中也表示，大陆客户预付购买的DUV光刻机所积压的订单基本都已完成交付。

情况也确实如此，2023年ASML向大陆出货了超600亿元的光刻机，是2022年的3倍左右，去年二季度来自大陆市场营收占比达到24%，三季度更是占到46%。

这样的话，我们已经储备了足够多的DUV光刻机，可以说能够满足未来几年需求。

再者，我们买了那么多的光刻机，给我们国产光刻机突破赢得了更多时间。之前就有消息显示，上海微电子等相关国内光刻机产业链在努力，攻坚更先进的光刻机。

后来国产光刻机突破又没了消息，但没消息并不代表没有进步。要知道，我们加速研发先进的国产光刻机，主要是为了解决自己的问题，根本没必要向外公布消息。

前段日子，华为自研麒麟芯片回归，被证实是大陆产业制造，具体情况也不公布。

因此，美方实际的限制根本阻挡不了我们的芯片发展，即使是扩大限制先进光刻机也没用，因为我们国产先进光刻机即将或者已实现突破，摆脱依赖已经指日可见。

所以ASML才会想尽办法加速向大陆市场出货，因为它很明白自己的处境，如果不趁现在的机会多出货，未来恐怕就没机会了。对此外媒表示，ASML果然有一套！