1.洁净度级别的确定:根据实际需要,确定洁净区的洁净度级别。洁净度通常通过颗粒计数来表示,如ISO 14644标准中的等级。
2.通风系统设计:采用适当的通风系统,确保洁净区内的空气流动符合要求。使用高效的空气过滤器,如HEPA(高效颗粒空气)或ULPA(超高效颗粒空气)过滤器,以控制颗粒物质的浓度。
3.温湿度控制:确保洁净区内的温湿度处于符合工艺或实验要求的范围内。使用恒温、恒湿设备,并在需要的情况下配备适当的湿度控制系统。
4.建筑材料和装修:使用易清洁、不产生颗粒的建筑材料,减少灰尘和颗粒的生成。墙壁、天花板和地板的表面应光滑、不吸尘,便于清洁和维护。
5.人员控制:实施适当的人员控制措施,如人员通行要求穿戴洁净服、鞋套等。制定明确的入口和出口流程,防止交叉污染。
6.设备和工具:选择易清洁的设备和工具,减少尘埃的产生。定期维护和清洁设备,以确保其正常运行和不产生污染。
7.材料传递:设计合理的材料传递通道,防止污染物质进入洁净区。使用适当的传递设备和容器,以减少颗粒和尘埃的产生。
8.监控系统:配备洁净度监测系统,定期监测洁净区内的洁净度水平。实施报警系统,及时发现并纠正洁净度超标的情况。
9.规范作业程序:制定清晰的作业程序,规范人员在洁净区内的操作,减少污染风险。为人员提供培训,确保他们理解和遵守相关的洁净区操作规程。