1. 洁净室工艺生产所需要高纯气体包括：高纯的氢气。氧气，氮气，氯气，氮气，氖气和压缩空气等。

2. 其中用量以氢气和氮气为最多，纯度以电子工业中的半导体器件和集成电驴制作为最高危险性以氢气和氧气为最大。

3. 高纯气体在总体设计中应重点考虑的问题是，气体的生产（来源），纯化，输送和安全措施。

4. 洁净厂房气体入口室的主要功能是控制送到厂房的气体，包括切断，减压与压力调节，计量测定气体的流量，温度等参数以及必要时检测气体的纯度。

5. 气体入口室应尽量靠近洁净生产区的用气点，以缩短管线，减少污染，方便管理。

6. 洁净厂房的高纯气体供气室不应放在洁净生产区内，以减少油污和污染，同时为了运桔钢瓶的方便，宜布置在底层。