陶瓷、金属和高分子是目前的三大固体材料,这些材料主要差异在于化学键的不同。金属以金属键结合,高分子则是共价键及凡德瓦尔键,陶瓷材料主要是共价键和离子键为多数,都是属于强键结。而陶瓷材料根据原料又可分为一般陶瓷及特种陶瓷,其中特种陶瓷又分为氧化物陶瓷(例如氧化铝陶瓷、氧化铍陶瓷)、碳化物陶瓷(碳化硅陶瓷)、氮化物陶瓷(氮化铝陶瓷)硼化物陶瓷…等。在实际应用时陶瓷中的氧化铝含量高于75%就称作氧化铝陶瓷,根据含量不同分为75瓷(75%氧化铝)、85瓷(85%氧化铝)、95瓷(95%氧化铝)和99瓷(99%氧化铝)。而当氧化铝含量越高时,气孔越少、玻璃越少、陶瓷性能也越好,但也代表需要更复杂的制程及高的成本。陶瓷膜片传感器使用的就是99.9% 的超纯氧化铝陶瓷。它具有极高的硬度,光滑的表面(Ra < = 0.35的抛光度),三倍金属材料的延展力。
99.9%超纯氧化铝陶瓷元件
传感器的核心元件是传感器,是以两个圆柱形99.9%的超纯氧化铝陶瓷元件(陶瓷膜片和本体)密封连接,构成一个高强度的全密封装置。制程传感器直接作用在坚固耐用的陶瓷隔离膜片上,导致膜片发生形变。测量陶瓷基板上的电极、隔离膜片上与压力成比例关系的电容变化量、及隔离膜片的厚度定义了测量范围。随着仪表技术的提升
陶瓷膜片
采用陶瓷膜片进行传感测量,使得原本不易测量的制程变得异常轻松:
陶瓷膜片优势:
适用于高真空下测量,可承受绝对压力0.1 Pa 的极度真空环。解决了金属膜片在高真空测量时可能导致膜片永久变形的问题。
典型应用:真空装置
极度耐磨,其耐磨性大约是不锈钢的22倍,厚度是传统金属膜片的40倍。解决了使用金属膜片测量含固体介质时可能导致膜片磨损的问题。
典型应用:造纸业纸浆压力测量
干式传感器,没有填充任何的油脂。
典型应用:半导体行业的超纯水测量
抗频繁的压力冲击,拥有优秀的长期稳定性。
即使简单的制程条件,同样也可以采用陶瓷膜片的压力计:坚硬耐磨的磨片,让您的现场安装时,不必再担心操作失误造成磨片磨损的情况。