CINNO research产业资讯，2023年12月14日-全球领先的纳米电子、数字技术研究和创新中心Imec与日本领先的化学公司和EUV薄膜供应商三井化学宣布，开始就极紫外光刻用碳纳米管（CNT）基薄膜（Pellicle）的商业化建立战略合作伙伴关系。根据这一合作伙伴关系，三井化学将把imec的碳纳米管基薄膜创新地整合到其现有碳纳米管薄膜技术中，以建立完整的生产规格。这一合作的目标是在2025-2026年将其用于大功率EUV系统的制造中，双方的签约仪式在东京举行的Semicon Japan 2023上举行。

据介绍，合作伙伴双方计划通过相关咨询和imec的EUV扫描设备验证，共同开发EUV薄膜，以便在三井化学公司进行商业化。这种薄膜可以保护光掩模在EUV曝光过程中免受污染，它具有极高的EUV透射率（≥94%）、极低的EUV反射率和最小的光学影响——这些是先进半导体制造工艺中实现高产量和高良率生产的关键特性。CNT薄膜能够承受超过1kW的EUV功率水平，能够支持实现未来EUV光源的目标功率（>600W）。鉴于这些优势，这种碳纳米管基薄膜，引起了众多希望在其大批量制造过程中使用EUV光刻技术的公司的强烈兴趣。在这样的市场背景下，上述合作伙伴双方希望通过共同开发适合行业的CNT薄膜，以满足市场需求。

“Imec在支持半导体生态系统推进光刻技术发展方面有着悠久的历史。自2015年以来，我们与整个供应链的合作伙伴合作，开发了一种创新的基于CNT的薄膜设计，用于先进的EUV光刻，”Imec高级图案化、工艺和材料高级副总裁Steven Scheer表示：“我们相信，公司对CNT膜的测量、表征和参数性能方面的深入了解将加速三井化学的产品开发。我们希望共同将CNT膜投入商业生产，用于未来几代EUV光刻系统的构建。”

从上述光刻技术的路线图看出，市场预计在2025-2026年会推出新的薄膜，即下一代ASML 0.33NA EUV光刻系统，支持600W及更高功率水平的光源。该时间与超过2nm逻辑技术节点的插入相关联。

关于imec

Imec是全球领先的纳米电子、数字技术研究和创新中心。该研究中心利用其最先进的研发基础设施及其5500多名员工和顶尖研究人员的团队。除了先进半导体、硅光子学、人工智能、5G通信和传感技术之外，他们还致力于健康和生命科学、移动、工业4.0、农产品、智能城市、可持续能源等众多应用领域的研发。Imec将半导体价值链、佛兰德斯和国际科技、制药、医疗和ICT公司、初创企业、学术界和知识中心的世界行业领导者团结在一起。Imec的总部位于鲁汶（比利时），在比利时、荷兰和美国设有研究机构，并在三大洲设有代表处。2022年，imec的收入（P&L）总计8.46亿欧元。

关于三井化学

三井化学的起源可以追溯到1912年，当时该公司最先在日本开始用煤气副产品生产化肥原材料。这项事业大大提高了农业生产力，它是当时的一个主要社会问题。后来，该公司将其技术从煤化工发展到天然气化工，并于1958年建造了日本第一个石化联合企业，从而为日本工业的快速发展提供了动力。如今，该公司拥有许多世界级的产品，销售额超过16000亿日元，在30个国家拥有160多家公司。其业务组合包括生命与医疗保健解决方案、移动解决方案、ICT解决方案、基础与绿色材料。